интегральные схемы
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
В наличииПриводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС...
