М. В. Силибин
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2
В наличииУчебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов...