Описание
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов.
Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
Характеристики
Автор(ы) | В. М. Рощин, М. В. Силибин |
Издательство | БИНОМ. Лаборатория знаний |
Вид издания | Учебное пособие |
Год выпуска | 2010 |
ISBN | 978-5-94774-910-6 |
Кол-во страниц | 180 |
Формат страниц | 60x90/16 (145x215 мм) |
Язык | Русский |
Переплёт | Твердый |
Тираж | 1000 экз. |
Вес | 300 г |