Описание
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Характеристики
Автор(ы) | М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. Г. Путря, В. И. Шевяков |
Издательство | БИНОМ. Лаборатория знаний |
Вид издания | Учебное пособие для вузов, Гриф УМО вузов России |
Серия | Электроника |
Год выпуска | 2011 |
ISBN | 978-5-94774-585-6 |
Кол-во страниц | 422 |
Формат страниц | 60x90/16 (145x215 мм) |
Язык | Русский |
Переплёт | Твердый |
Тираж | 1000 экз. |
Вес | 530 г |