Г. Красников
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов. 2-е изд.
В наличииВ книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования...