Описание
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам.
Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) "Микросистемная техника" и "Микроэлектроника и твердотельная электроника". Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.
Характеристики
Автор(ы) | Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В., Андрианов А. М., Панкратов О. В. |
Издательство | БИНОМ. Лаборатория знаний |
Вид издания | Учебное пособие |
Год выпуска | 2011 |
ISBN | 978-5-9963-0636-7 |
Кол-во страниц | 176 |
Формат страниц | 60x90/16 (145x215 мм) |
Язык | Русский |
Переплёт | Твердый |
Тираж | 500 экз. |
Вес | 290 г |