В. К. Прокофьева
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1
В наличииВ учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья...