Описание
В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем. Изложение материала построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы.
Книга предназначена главным образом для студентов как учебное пособие по физико-технологическим основам электроники и микроэлектроники, но может оказаться полезной и специалистам в этой области.
Рекомендовано учебно-методическим объединением ВУЗов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 550700 и 654100 «Электроника и микроэлектроника» подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов.
Характеристики
Автор(ы) | Барыбин А.А. |
Издательство | ФИЗМАТЛИТ |
Год выпуска | 2006 |
ISBN | 5-9221-0679-1, 978-5-9221-0679-5 |
Кол-во страниц | 424 |
Формат страниц | 60x90/16 (145x215 мм) |
Язык | Русский |
Переплёт | Твердый |
Тираж | 1500 экз. |
Вес | 530 г |