микроэлектроника
Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2
В наличииУчебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов...Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 1
В наличииВ учебном пособии рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто- и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья...Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
В наличииПриводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС...Электроника и микроэлектроника. Физико-технологические основы
В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов, используемых в производстве современных электронных приборов и интегральных микросхем...
